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視覺檢測機(jī)在硅晶圓檢測中的應(yīng)用

2020-10-09 10:41:32 責(zé)任編輯: 瑞智光電 0

    照相機(jī)是視覺檢測機(jī)中必不可少的部件,短波紅外(SWIR)照相機(jī)使用于紅外顯微成像,可檢驗(yàn)半導(dǎo)體制作過程中的缺陷。電子設(shè)備在現(xiàn)如今現(xiàn)代科技中已十分遍及。每個(gè)人很有可能在應(yīng)用電子設(shè)備時(shí),直接就遇到并應(yīng)用了硅晶圓。


    硅——半導(dǎo)體的關(guān)鍵材料

視覺檢測機(jī)


    晶圓是一種薄的半導(dǎo)體材料基材,用于制作電子一體式電路。半導(dǎo)體材料品種多樣,電子器材中最常用的一種半導(dǎo)體材料是硅(Si)。硅晶圓是一體式電路中的重點(diǎn)部分。它由高純度、簡直無缺陷的單晶硅棒利用切片制成,用作制作晶圓內(nèi)和晶圓表面上微電子器材的基板。晶圓要利用多個(gè)微加工工藝過程才能制成,例如掩膜、蝕刻、摻雜和金屬化。


   集成電路(IC)基本成為全部電子設(shè)備的要緊部件。IC是將很多電子電路和元件的微型結(jié)構(gòu)移植印制到半導(dǎo)體晶體(例如硅Si)的材料的表面上。元件、電路和基材均制作在單個(gè)晶圓上。數(shù)以百計(jì)的一體式電路IC可一起在單個(gè)薄硅晶圓上制作,隨后切割成多個(gè)單獨(dú)的IC芯片。硅晶圓裂紋會(huì)損害最終商品品質(zhì)。


    視覺檢測機(jī)檢驗(yàn)硅晶圓會(huì)堆集在成長、切開、研磨、蝕刻、拋光過程中的殘余應(yīng)力。因而,硅晶圓在整個(gè)制作過程中很有可能發(fā)生裂紋,如果裂紋未被檢驗(yàn)到,那些含有裂紋的晶圓就在后續(xù)生產(chǎn)制造時(shí)期中發(fā)生無用的商品。裂紋也很有可能在將一體式電路切割成單獨(dú)IC時(shí)發(fā)生。因而,若要下落制作成本,在進(jìn)一步的加工前,檢查原材料基材的雜質(zhì)、裂紋和在加工過程中檢驗(yàn)缺陷十分關(guān)鍵。


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